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【BLK-194】kira★kira BLACK GAL 黒ギャル青姦露出-灼熱太陽の下でロリカワ潮吹き中出し- May 机械策画教研室

发布日期:2024-08-20 03:39    点击次数:61

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授权国度发明专利20余件。

代表性授权发明专利:

1. 晶圆铜膜厚度在线测量模块结束系统,ZL 2013 1 0204691.2,中国.

2. CMP集成结束系统的通信模块,ZL 2013 1 0684501.1,中国.

3. 基于XML的半导体装备的工艺配方文档贬责系统,ZL 2013 1 0148657.8,中国.

4. 晶圆铜膜厚度离线测量模块结束系统,ZL 2013 1 0204940.8,中国.

5. 化学机械抛光结束系统的云尔造访客户端,ZL 2013 1 0684504.5,中国.

6. 化学机械抛光多区压力在线结束算法,ZL 2016 1 0139592.4,中国.

7. 用于晶圆铜层厚度多点测量的标定系统【BLK-194】kira★kira BLACK GAL 黒ギャル青姦露出-灼熱太陽の下でロリカワ潮吹き中出し- May,ZL 2016 1 0872138.X,中国.

8. 多工位化学机械抛光系统中晶圆传送的结束步调,ZL 2016 1 0030932.X,中国.

9. CMP全工艺流程金属膜厚数据的离线贬责步调,ZL 2016 1 0874828.9,中国,

10. 多点测量晶圆名义铜层厚度的在线磋磨步调,ZL 2016 1 0860560.3,中国.

11. 铜CMP在线测量点及时定位步调及系统,ZL 2016 1 0867097.5,中国.

12. 在线立异晶圆名义平坦度的步调,ZL 2017 1 0311999.5,中国.

13. 铜CMP的在线平坦度结束系统,ZL 2017 1 0312281.8,中国.

14. 用于化学机械抛光工艺的在线止境检测结束系统及步调,ZL 2017 1 0713502.2,中国.

15. 旋转式摩擦磨损历练的湿度腔安装,ZL 2019 1 0681526.3,中国.

荣获磋磨机软件文章权8项。

1. 化学机械抛光止境检测安装用户软件 V1.0,2013SR020366,中国.

2. 双工位化学机械抛光确立操作软件 V1.0, 2013SR017915,中国.

3. 全自动干进干出化学机械抛光确立用户软件V1.0,2013SR020014,中国.

4. 云尔监控清洗确立用户软件 V1.0,2013SR045510,中国.

5. 化学机械抛光确立OPC客户端软件 V1.0,2013SR046281,中国.

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6. 化学机械抛光工艺配方贬责软件 V1.0,2013SR045508,中国.

7. 化学机械抛光结束系统通信模块软件 V1.0,2013SR106347,中国.

8. 离线测量晶圆铜膜厚度模块结束软件 V1.0,2013SR106219【BLK-194】kira★kira BLACK GAL 黒ギャル青姦露出-灼熱太陽の下でロリカワ潮吹き中出し- May,中国.



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